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微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜
林晨, 李义锋, 张锦文
Nanocrystalline diamond film growth by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPCVD)
LIN Chen, LI Yifeng, ZHANG Jinwen
功能材料 . 2021, (
7
): 7001 -7005 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2021.07.001