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磁控溅射制备Al
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吴坤尧, 刘强, 鲁媛媛, 孙乐
Preparation of Al
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thin films by magnetron sputtering and its corrosion resistance
WU Kunyao, LIU Qiang, LU Yuanyuan, SUN Le
功能材料 . 2020, (
2
): 2209 -2213 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.02.035