磁控溅射制备Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜及耐蚀性能研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2020.02.035

功能材料 ›› 2020, Vol. 51 ›› Issue (2) : 2209-2213. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.02.035

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磁控溅射制备Al₂O₃薄膜及耐蚀性能研究

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Preparation of Al₂O₃ thin films by magnetron sputtering and its corrosion resistance

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2019-09-25	2020-02-29
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2020-02-29

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