烧结温度对Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>掺杂TiO<sub>2</sub>靶材性能的影响

烧结温度对Nb₂O₅掺杂TiO₂靶材性能的影响

朱佐祥, 彭伟, 尚福亮, 高玲, 杨海涛

Sintering temperature on the properties of Nb₂O₅ doped TiO₂ target

ZHU Zuoxiang, PENG Wei, SHANG Fuliang, GAO Ling, YANG Haitao

功能材料 . 2017, (3): 3223 -3226 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.042