烧结温度对Nb2O5掺杂TiO2靶材性能的影响

朱佐祥, 彭 伟, 尚福亮, 高 玲, 杨海涛

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功能材料 ›› 2017, Vol. 48 ›› Issue (3) : 3223-3226. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.042
工艺·技术

烧结温度对Nb2O5掺杂TiO2靶材性能的影响

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Sintering temperature on the properties of Nb2O5 doped TiO2 target

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