烧结气氛压力对高性能TFT用ITO靶材结瘤性能的研究
黄誓成, 杨祥, 陆映东, 姜姝, 李喜峰, 张雪凤, 杜海柱
Effect of sintering pressure on the nodulation of high performance TFT ITO target
HUANG Shicheng, YANG Xiang, LU Yingdong, JIANG Shu, LI Xifeng, ZHANG Xuefeng, DU Haizhu
功能材料
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2018, (8): 8057
-8061
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DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.08.009
