一种新型SOI绝缘硅复合材料的制备与性能表征

一种新型SOI绝缘硅复合材料的制备与性能表征

黄志强 ,沈彦宇 ,顾宇杰 ,马雪涛

Preparation and characterization of a novel SOI insulating silicon composite

HUANG Zhiqiang, SHEN Yanyu, GU Yujie, MA Xuetao

功能材料 . 2019, (1): 1001 -1005 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.001