一种新型SOI绝缘硅复合材料的制备与性能表征

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.001

功能材料 ›› 2019, Vol. 50 ›› Issue (1) : 1001-1005. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.001

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一种新型SOI绝缘硅复合材料的制备与性能表征

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Preparation and characterization of a novel SOI insulating silicon composite

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2018-07-31	2019-01-31
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2019-01-30

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