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a-Si∶H/a-SiC∶H多层薄膜的光、电特性研究
蒋 冰,丁 宁,陈乙豪,马 蕾
The optical and electrical properties of a-Si∶H/a-SiC∶H multilayer films
JIANG Bing, DING Ning, CHEN Yihao, MA Lei
功能材料 . 2016, (
10
): 10153 -10156 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.028