a-Si∶H/a-SiC∶H多层薄膜的光、电特性研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.028

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (10) : 10153-10156. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.028

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a-Si∶H/a-SiC∶H多层薄膜的光、电特性研究

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The optical and electrical properties of a-Si∶H/a-SiC∶H multilayer films

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2015-09-21	2016-10-30
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2016-10-30

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