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薄膜热电偶瞬态温度传感器Al2O3绝缘膜制备工艺及性能表征
崔云先;郭立明
The preparation and characterization of insulative Al2O3 film for the film thermocouple transient temperature sensor
Yunxian Cui
. 2014, (
07
): 20 -0 .
