薄膜热电偶瞬态温度传感器Al2O3绝缘膜制备工艺及性能表征

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (07) : 20-0.

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The preparation and characterization of insulative Al2O3 film for the film thermocouple transient temperature sensor

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Received	Revised	Published
2013-11-22	2013-12-15	2014-04-15
Issue Date
2014-04-15

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