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单体流量对大气压等离子体枪沉积二氧化硅薄膜的影响?
林江;张溪文;韩高荣
Effect of the Monomer TEOS Flow Rate on the Formation of Silicon Dioxide Films by Nonequilibrium, Atmospheric Pressure Plasma Jet
Jiang LIN ;
. 2011, (
S2
): 48 -0 .