单体流量对大气压等离子体枪沉积二氧化硅薄膜的影响?

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S2) : 48-0.

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Effect of the Monomer TEOS Flow Rate on the Formation of Silicon Dioxide Films by Nonequilibrium, Atmospheric Pressure Plasma Jet

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Received	Revised	Published
2010-09-08	2010-11-17	2011-06-25
Issue Date
2011-06-25

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