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热丝CVD法低温制备的多晶硅薄膜质量对衬底依赖性的研究
张磊;沈鸿烈;黄海宾
The low temperature deposited poly-Si thin film by HWCVD quality dependence on substrates
ZHANG Lei;SHEN Honglie;HUANG Haibin
. 2011, (
11
): 1947 -1950 .
