×
模态框（Modal）标题
在这里添加一些文本
关闭
关闭
提交更改
取消
确定并提交
×
模态框（Modal）标题
在这里添加一些文本
关闭
×
Toggle navigation
首页
关于本刊
期刊介绍
被收录情况
获奖情况
大事记
编委会
本届编委会
在线期刊
当期目录
最新录用
过刊浏览
阅读排行
下载排行
引用排行
E-mail Alert
作者中心
投稿指南
论文模板
参考文献著录规则
论文版权转让协议书
出版伦理
广告合作
期刊订阅
联系我们
English
用PECVD制备高抗腐蚀性能SiNx薄膜的工艺研究
刘瑞文;焦斌斌;欧毅;陈大鹏
The study on technology for high corrosion-resistant SiNx thin film deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
Liu Rui Wen;Jiao Bin bin ;
. 2010, (
11
): 11 -0 .
