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射频磁控溅射沉积高质量ZnO薄膜的工艺条件(修改稿)
李伙全;曾祥华;韩玖荣
Deposition Parameters of RF Sputtered High-Quality ZnO films
Huo-Quan Li;Xiang-Hua Zeng;Jiu-Rong Han
. 2012, (
05
): 677 -680 .
