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辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响
代海洋;陈镇平;程学瑞
Effects of Assistant Gases Composition on the Structure, Properties of Diamond-like Carbon Films
DAI Haiyang;CHEN Zhenping;CHENG Xuerui
. 2012, (
12
): 1643 -1646 .
