辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (12) : 1643-1646.

研究与开发

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Effects of Assistant Gases Composition on the Structure, Properties of Diamond-like Carbon Films

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Received	Revised	Published
2012-03-09	2012-04-11	2012-06-30
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2012-06-30

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