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溅射功率对磁控溅射ZnO:Al(ZAO)薄膜性能的影响
高立华;郑玉婴
Effects of Sputtering Power on Al Doped ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
;Yu -Ying ZHENG
. 2015, (
08
): 6 -0 .
