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磁控溅射硅钼薄膜的抗氧化性能研究
邵红红;徐涛;王晓静
Research on Oxidation Property of Mo-Si Thin Filmby Magnetron Sputtering
SHAO Honghong;XU Tao;WANG Xiaojing
. 2012, (
15
): 2095 -2097 .