磁控溅射硅钼薄膜的抗氧化性能研究

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (15) : 2095-2097.

研究与开发

磁控溅射硅钼薄膜的抗氧化性能研究

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Research on Oxidation Property of Mo-Si Thin Filmby Magnetron Sputtering

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

History +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2012, 43(15): 2095-2097

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. Journal of Functional Materials. 2012, 43(15): 2095-2097

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(3216 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

Received	Revised	Published
2012-03-05	2012-03-28	2012-08-15
Issue Date
2012-08-15

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权