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单晶Tm2O3高k栅介质漏电流输运机制研究
杨晓峰;谭永胜;冀婷;汪建军;方泽波;陈太红
Leakage current mechanisms of Single-crystalline Tm2O3 high-k gate dielectrics
;;;;
. 2012, (
S2
): 20 -0 .
