单晶Tm2O3高k栅介质漏电流输运机制研究

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (S2) : 20-0.

研究与开发

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Leakage current mechanisms of Single-crystalline Tm2O3 high-k gate dielectrics

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Received	Revised	Published
2012-08-27	2012-09-27	2012-11-30
Issue Date
2012-11-30

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