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富氮MeNx (Me=Ti，Zr，Hf) 薄膜的结构与红外光学性能
许恒志;唐伟忠;于盛旺;胡浩林;惠大胜;吕反修
Structure and IR optical property of nitrogen-rich MeNx（Me=Ti、Zr、Hf）films
;;;;
. 2011, (
05
): 1 -0 .
