富氮MeNx (Me=Ti，Zr，Hf) 薄膜的结构与红外光学性能

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (05) : 1-0.

研究与开发

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Structure and IR optical property of nitrogen-rich MeNx（Me=Ti、Zr、Hf）films

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Received	Revised	Published
2010-08-16	2010-08-29	2011-05-25
Issue Date
2011-05-25

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