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掺杂浓度及退火对Ta-ZnO透明导电薄膜表面形貌的影响
陈进军;曹铃;宋学萍
Effect of Ta2O5 content in target and annealing temperature on morphological properties of Ta-ZnO films
CHEN Jinjun;CAO Ling;SONG Xueping
. 2010, (
04
): 687 -689 .
