掺杂浓度及退火对Ta-ZnO透明导电薄膜表面形貌的影响

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (04) : 687-689.

研究与开发

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Effect of Ta2O5 content in target and annealing temperature on morphological properties of Ta-ZnO films

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Received	Revised	Published
2009-09-07	2009-10-13	2010-04-25
Issue Date
2010-04-25

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