非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展

非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展

单睿, 齐通通, 黎秉哲, 郭杰, 袁俊

Research status and application progress of non-evaporable film getter

SHAN Rui, QI Tongtong, LI Bingzhe, GUO Jie, YUAN Jun

功能材料 . 2018, (5): 5049 -5055 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.05.009