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氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究
刘政鹏 李娟 刘宁 景月月 熊绍珍
The Preliminary Investigation of Hydrogen Plasma Assisted Solid Phase Crystallization Polycrystalline Silicon Film
Zheng-Peng LIU Juan LI
. 2014, (
19
): 5 -0 .
