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射频磁控溅射法制备TiSiCN纳米复合膜的微观结构和力学性能研究
薛增辉;李伟
Characterization of microstructure and mechanical property of TiSiCN nanocomposite film deposited by RF magnetron sputtering
;Wei LI
. 2015, (
07
): 16 -0 .
