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Al2O3感光薄膜的制备及其微细图形化研究
王哲哲;赵高扬;林林;冯卓宏;郑志强
Fabrication of Al2O3 photosensitive films and micro- patterning microstructures
zhezhe wangZHAO Gao-Yang;;;
. 2014, (
12-光电
): 17 -0 .
