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射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响
黄稳;余洲;刘连
Influence of RF sputtering parameter on the structural and electrical properties of AZO thin film
HUANG Wen;YU Zhou;LIU Lian
. 2012, (
12
): 1553 -1555 .
