厚度对DLC薄膜内应力的影响研究

厚度对DLC薄膜内应力的影响研究

谷坤明;吕乐阳;毛斐;虞烈;汤皎宁

Thickness dependence of internal stress in DLC films

Kun-ming GU;;;;

. 2011, (S1): 46 -0 .