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纳米二氧化硅抛光液对低K材料聚酰亚胺的影响
胡轶;刘玉岭;刘效岩
Effect of nano-Si02 slurry on low-k material (PI)
HU Yi;LIU Yuling;LIU Xiaoyan
. 2011, (
S5
): 852 -854 .
