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热处理气氛对溶胶凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响
李倩;李喜峰;张建华
Effect of annealing on characteristics of amorphous InGaZnO thin film transistors fabricated by sol-gel technical
LI Qian;LI Xi-feng;ZHANG Jian-hua
. 2013, (
03
): 442 -445 .
