锗/石墨/硅薄膜结构的制备及其性质分析

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (S2) : 7-0.

工艺技术

锗/石墨/硅薄膜结构的制备及其性质分析

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Preparation and properties of germanium/graphite/silicon thin film structure

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Received	Revised	Published
2015-04-22	2015-07-27	2015-12-29
Issue Date
2015-12-29

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