磁控溅射WO3薄膜的制备及其NO2气敏特性研究

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (07) : 8-0.

工艺技术

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Preparation and NO2 sensing of sputtered WO3 thin films

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Received	Revised	Published
2014-10-13	2014-11-01	2015-04-15
Issue Date
2015-04-15

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