溅射氩气压对射频磁控溅射制备ZnO:Al薄膜性能的影响

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (07) : 32-0.

研究开发

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Influence of the deposition pressure on the properties of ZnO:Al thin-film produced by r.f. sputtering

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Received	Revised	Published
2014-09-14	2014-11-22	2015-04-15
Issue Date
2015-04-15

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