卷绕型磁控溅射法沉积纳米Cu薄膜的性能研究

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (05) : 21-0.

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Study on the performance of Nano-copper film deposited by magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2014-07-30	2014-09-21	2015-03-15
Issue Date
2015-03-15

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