基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算
张旭海
基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算
{{custom_ref.label}} |
{{custom_citation.content}}
{{custom_citation.annotation}}
|
/
〈 | 〉 |