PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (23) : 15-0.

工艺技术

PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究

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A Study of Metallization for PZT Piezoelectric Buzzer Using Magnetron Sputtering Technology

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Received	Revised	Published
2014-05-21	2014-07-08	2014-12-15
Issue Date
2014-12-15

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