内核尺寸对核/壳结构PS/SiO2复合磨料抛光特性的影响

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (19) : 4-0.

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Effect of the core size of the core/shell structured PS/SiO2 composite abrasives on oxide-CMP behavior

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Received	Revised	Published
2013-12-05	2014-01-25	2014-10-15
Issue Date
2014-10-16

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