纯水基溶胶凝胶法制备HfO2纳米超薄膜

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (16) : 6-0.

工艺技术

纯水基溶胶凝胶法制备HfO2纳米超薄膜

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Synthesis of Ultra-thin HfO2 Nano-films by Pure Water-based Sol-Gel Method

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Received	Revised	Published
2014-01-07	2014-03-10	2014-08-30
Issue Date
2014-08-30

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