基于增透膜的非晶硅薄膜激光低损伤晶化工艺研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (12-光电) : 22-0.

研究开发

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A Low Damage Laser Annealing Process for Amorphous Silicon Thin Films with an Antireflective Film

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Received	Revised	Published
2014-01-02	2014-03-12	2014-06-30
Issue Date
2014-06-30

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