α-SiOx:H钝化Cz-Si表面的工艺优化与机制分析

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (09) : 16-0.

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Optimization and Operation Mechanism Analysis of Cz-Si Wafer Passivation by α-SiOx:H Film

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Received	Revised	Published
2013-08-22	2013-09-21	2014-05-15
Issue Date
2014-05-15

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