硅基石墨烯场效应管关键工艺研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (S2) : 31-0.

工艺技术

硅基石墨烯场效应管关键工艺研究

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A study on critical fabrication process of silicon based graphene field effect transistor

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Received	Revised	Published
2013-03-06	2013-04-15	2013-12-29
Issue Date
2013-12-29

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