He＋辐照对非经碳氢薄膜硬度的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (S1) : 67-70.

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He＋辐照对非经碳氢薄膜硬度的影响

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The influence of He ion irradiation on the surface hardness of amorphous hydrocarbon film

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Received	Revised	Published
2013-02-05	2013-04-03	2013-06-29
Issue Date
2013-06-29

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