氧碳比对MPCVD法同质外延单晶金刚石的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (14) : 2065-2068.

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Effect of oxygen-carbon ratio on the homoepitaxial growth of diamond by microwave plasma CVD

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Received	Revised	Published
2012-11-13	2012-12-05	2013-07-30
Issue Date
2013-07-30

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