单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (12) : 1709-1712.

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单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀研究

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Silicification corrosion characteristics of monocrystalline silicon furnace carbon materials

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Received	Revised	Published
2012-10-25	2013-03-04	2013-06-30
Issue Date
2013-06-30

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